Displex-PSプローブステーション

Displex-PS

Displex-PSではGM冷凍機にて試料を極低温まで冷却し5-350Kの温度範囲、最大6本のマイクロマニュピレータを装備しDC, RFプローブなどが選択できます。 ２インチのテストエリアを持ち、試料テーブルは1μm以下の振動レベルに抑えられています。

特徴

• 5-350Kの温度範囲
• 450Kオプション、700Kオプション
• 2インチテストエリア
• 2.75インチクリアビュー
• 最大6本のプローブアーム
• １μm精度の精密アクチュエータ
• ⾼安定リニアモーションステージ
• ステンレス製真空チャンバー
• 7:1ズームモニター
• 試料テーブル振動レベル1μm以下
• 輻射シールドヒーターによる⾼速試料交換

基本仕様

Displex-UHV

冷凍機	DE-204AF	DE-204SF	DE-204PF
温度範囲	<10-350K	<4.2-350K	<6-350K
700Kオプション	（最低温度+2K）-700K
450Kオプション	（最低温度+2K）-450K
温度安定性	0.1K
冷却時間	20Kまで90分、最低温度+1Kまで160分 （ターボ仕様の場合それぞれ65分、90分）
マニュピレータ	プローブアーム標準で4個、アクセサリーポート2個
測定可能領域	２インチ X ２インチ
可動距離	半径⽅向(X軸）63mm, 横⽅向(Y軸) 51mm , 縦⽅向(Z軸) 25mm
移動スケール	10μm (アクチュエータ感度1μm)
プローブチップ	DC-RFタングステンチップ (同軸、トライアキシャル)、マイクロ波領域(DC-67GHz)、光ファイバー
除震テーブル	振動レベル：約1μm
マイクロスコープ	視野4.2-0.61mm、作動距離89mm, 分解能1μm, 画像はモニターに出力
寸法	927 mm X 737 mm (テーブル), 高さ988mm(突起を含まない)

450Kインターフェース

熱スイッチを内蔵することで、試料を450Kまで加熱することができます。 クライオスタットと試料ホルダーの間に取り付け、高温の試料からの熱の流入を抑えます