SEM用AFM,マニュピレータ

attoSEMsolutions:　SEM用マニュピレータと原子間力顕微鏡

attocubeの精密ポジショナーは超高真空の分野でも多く使用されております。attocubeでは新たに低真空走査型電子顕微鏡(ESEM)のチャンバー内で使用できる原子間力顕微鏡を開発いたしました。 材料科学や生物学、固体物理学などの分野で電子顕微鏡と原子間力顕微鏡という全く異なる測定手段を組み合わせることで新たな研究開発の展望を開きます。主要構成部品は独立したモジュラー構成になっており ご使用の電子顕微鏡に合わせてフレキシブルに対応できるシステムになっております。

SEM用マニュピレータ

attocube社の精密ポジショナーを使用し、SEM中にて試料のマニュピレーションを行うことができます。電気特性測定用端子の移動やインデンテーション等の操作をサブnmの精度で精密に行うことができます。

SEM用AFM

SEM中にて原子間力顕微鏡(AFM)によりトポグラフィー像等のその場観察が行うことができます。

SEM用マニュピレータ

attocubeでは幅広いアプリケーションに対するソリューションを用意しております。

• SEM中プローブステーション
• 試料の機械的操作
• ナノインデンテーション

特徴として:

• フィードバック制御によるサブnm高精度位置決め
• 粗動距離最大5mm
• コンパクトなデザイン
• 高いフレキシビリティ

アプリケーション例

左はカスタムSEM用マニュピレータの例です。LMUのProf. Kotthausのグループによりデザインされた(*)SEM用マニュピレーターです。 attocubeのポジショナーによりSEM中でカーボンナノチューブの操作に成功しました。 画面上で操作を確認することが可能になることで新たな研究手段として注目されます。(S. Stapfner, L. Song, E. Weig)

SEM用AFMによるin situ測定

SEM用AFMとしてはattocubeでは二つのタイプを用意しております、一つは光干渉によりカンチレバーの変位を検出するタイプ、 もう一つはチューニングフォークを使用し光によらないで位置検出を行うタイプです。

カンチレバー方式

カンチレバーを使用するタイプではファイバーから照射された光がカンチレバー上で反射した光と、 ファイバー端面で反射した光の干渉を利用し高精度でカンチレバーの変位を検出します。市販のAFM用カンチレバー使用することができコンタクトモード、非コンタクトモード両方に対応します。

チューニングフォーク方式

チューニングフォーク方式では水晶の音叉の先にプローブを取り付け、試料表面からのせん断力による音叉の振動の変化を検出することでチップ－試料表面間の距離を制御します。 この方式ではチップの距離制御に光を使用しないため試料が光に影響される場合などに適しています。