attoCPS　極低温プローバー

attoCPS:　極低温プローバー

attoCPS (Cryogenic Probe Station)は極低温・高磁場中で安定に動作するプローバーです。既存の超伝導マグネット システムに取り付ける事が可能でナノエレクトロニクスやNEMS/MEMS他様々な分野で威力を発揮します。また室温部に取り付けたCCDカメラにより低温中でもチップ及び試料を直接観察しながら 走査できますので手軽な操作が可能になっております。ナノオーダーの精度とバックラッシュのない位置決め機構を用い、最大４プローブまで取り付けることが出来ます。さらにAFMやSNOMなどとの組合せも 可能になっております。

オプション

• 最大４組までの高分解能三軸ポジショニングステージによる位置決め機構
• 光ファイバー、DCチップ、HFチップ
• SNOMなどのSPMとの組合せ
• 可変温度インサート(VTI)及びヒーター内蔵試料ホルダーによる温度依存測定

特徴

• 極低温・15Tの高磁場中動作
• 非破壊測定
• 試料・チップ観察用ビデオ光学系
• プローブと試料温度との温度差無し
• 試料空間は最大13mm
• モジュラー構造により高い自由度とカスタムシステム
• 冷却・昇温が迅速
• 極低温で安定した動作
• 内部の温度勾配が無く、試料温度が明確
• ソフトウェアコントロール

attoCPS I:　極低温プローバー

attoCPS Iではミリメートルの範囲でナノメートルオーダーの精度を持つ位置決めステージを使用し最大４つのプローブを独立に操作することが出来ます。 試料はホルダーに固定されており配線を通すことが可能になっており様々な測定対応します。また赤外LED照明を使用しCCDにより直接試料・プローブを観察することが出来るので 直感的な操作が可能です。

attoCPS II:　極低温プローバー

attoCPS IIは、試料が固定されたattoCPS Iと異なり独立操作可能な４つのプローブの他試料も 移動することができます。試料ステージはXYZ方向以外にも回転ステージを追加することで回転することも可能です。特に同一形状の複数の試料を測定する場合にこのような コンフィギュレーションが有効です。一度プローブをセットすることで、後は試料の移動のみで測定を継続することができます。冷却中でもCCDカメラにより常に試料を目視しながら測定を行うことが可能です。