attoDRY SPM用無冷媒クライオスタット
共焦点顕微鏡
Spectral lines of one single quantum dot.
原子間力顕微鏡
Uncapped, stacked InAs quantum dots in GaAs.
磁気力顕微鏡
MFM measurements on a BaFeO sample.
ホールプローブ顕微鏡
SHPM image of BaFeO, recorded at 4.2 K in constant height mode. The color scale spans 106 mT (black to yellow), while the field detection limit of this measurement is 20 μT.
極低温プローバー
CCD image of an HF probe touching the contact pads.
attoDRY無冷媒クライオスタット
attoDRYは、attocube製SPM製品と組み合わせ、極低温・高磁場中でSPM測定を行う無冷媒クライオスタットです。
nmオーダーの低振動化を実現(attoDRY1000)
独自の除震構造によりパルスチューブ冷凍機のコールドヘッドと測定プラットフォームを切り離すことで4.2nm(peak-to-peak)の振動レベルを達成。また機械的 振動を切り離しているにもかかわらず、高効率の熱伝導を保っています。
超電導マグネット内蔵(attoDRY1000, 3000, 5000)
高磁場中SPM測定を可能にする超電導マグネットを内蔵することができます。
attoDRYシリーズ
attoDRY1000
- パルスチューブ冷凍機式トップローディングクライオスタット
attoDRY3000
- 無冷媒He3冷凍機式クライオスタット
attoDRY4000
- 無冷媒断熱消磁冷凍機式クライオスタット
attoDRY1000
- パルスチューブ冷凍機式トップローディングクライオスタット
attoDRY1000
- パルスチューブ冷凍機式トップローディングクライオスタット
attoDRY無冷媒クライオスタット
| 方式 | attoDRY1000 | attoDRY3000 | attoDRY4000 | attoDRY5000 | ||
| 温度範囲 | 4-300K | 300mK-300K | 100mK | 10mK-300K | ||
| 共焦点顕微鏡 | ||||||
| attoCFM I | 低温共焦点顕微鏡 | 対応 | 非対応 | 非対応 | 非対応 | |
| attoCFM II | 低温共焦点顕微鏡 | 対応 | 対応 | 対応 | 対応 | |
| attoCFM III | 低温共焦点顕微鏡,透過測定対応 | 対応 | 対応 | 要問合せ | 要問合せ | |
| attoRAMAN | 低温共焦点ラマン顕微鏡 | 対応 | 非対応 | 非対応 | 非対応 | |
| 原子間力顕微鏡 | ||||||
| attoAFM I | 低温AFMカンチレバー方式 | 対応 | 要問合せ | 対応 | 要問合せ | |
| attoAFM III | 低温AFMチューニングフォーク方式 | 要問合せ | 非対応 | 非対応 | 非対応 | |
| MFM | ||||||
| attoMFM I | 低温MFM | 対応 | 要問合せ | 非対応 | 非対応 | |
| 近接場光顕微鏡 | ||||||
| attoSNOM III | 低温チューニングフォーク式SNOM | 要問合せ | 非対応 | 非対応 | 非対応 | |
| ホールプローブ顕微鏡 | ||||||
| attoSHPM | 低温ホールプローブ顕微鏡 | 対応 | 対応 | 要問合せ | 対応 | |
| 極低温プローバー | ||||||
| attoCPS I | 低温プローバー | 対応 | 要問合せ | 非対応 | 非対応 | |
| attoCPS II | 低温プローバー | 対応 | 要問合せ | 非対応 | 非対応 | |
attoDRY1000
attoDRY1000におけるパルスチューブ冷凍機動作中のSPM測定画像、測定温度4K。
上図: 標準試料（グレーティング）のAFMイメージ。
下図： MFMによるBi-2212の渦糸 (attocube application labs 2010).
attoDRY1000
attoDRY1000はパルスチューブ冷凍機を使用した低振動無冷媒クライオスタットです。これまで機械式冷凍機を使用したクライオスタットで SPMを使用することは困難と思われてきましたが、新たに開発された独自の除震機構により4.2nm(peak-to-peak)の振動レベルを実現しました。 しかも試料スペースでは、3.5Kと高い熱リンクを保っております。attoDRY1000はトップローディングタイプなので、試料交換が容易、室温から一時間で冷却 します。
無冷媒クライオスタットでは最高レベルの除震性能
attoDRY1000はSPM用クライオスタットとして使用するために独自の除震機構を採用しており、AFM, MFMをはじめ、共焦点顕微鏡などに対応しております。
光干渉計attoFPSensorによる4Kにおける振動測定結果。共焦点顕微鏡attoCFMのセンサー部と試料ステージ(ANPz51)の相対的振動のプロット。 (attocube application labs, 2010).
光干渉計attoFPSensorによる4Kにおける振動測定結果。試料スペースの垂直方向の振動測定。パルスチューブ冷凍機による1.3Hz（およびハーモニック）は検出されず、 極めて低い振動バックグラウンドを実現。 (attocube application labs 2010).
主な仕様
| 温度範囲 | 4-300K |
| トップローディング機能 | 2インチ径プローブ及びattocube顕微鏡スティック |
| 初期冷却時間(4Kまで） | 5時間以内（マグネット無しの場合） |
| プローブ交換時冷却時間(5Kまで） | 1時間程度（attoCFMスティック使用、マグネット無し） |
| 温度安定性 | 0.1K以下 |
| パルスチューブ冷凍機 | 冷却能力:1W(4.2K) 消費電力:6kW 水冷コンプレッサー |
| 寸法(クライオスタット) | 640x640x1200mm (WxDxH) |
| 磁場対応 | 最大9Tまでの超電導マグネット(オプション)に対応 |
| 顕微鏡対応 | CFM I,II,III, AFM I, MFM I, RAMAN, SHPM, CPS |
attoDRY3000
パルスチューブ冷凍機を内蔵し、無冷媒運転にて300mKまで冷却することが可能です。9Tまでの超伝導マグネット（オプション）により液体ヘリウムを使用せず極低温・高磁場中のSPM測定ができます。 液体ヘリウム補充の手間がなく、寒剤使用に伴う危険性もありません。
- 無冷媒He3クライオスタット、保持時間50時間
- 温度範囲：300mKから300K
- 冷却能力：100μW (350mK)
主な仕様
| 温度範囲 | 300mK-300K |
| 冷却機構 | 無冷媒He3冷凍機、シングルショット動作 |
| 試料設置 | 真空中、IVCを外し交換 |
| 温度安定性 | +/-3mK （2K以下）,+/-0.1K （2K以上） |
| 3He凝縮時間 | 3時間程度 |
| 磁場対応 | 最大9Tまでの超電導マグネット(オプション)に対応 |
| 顕微鏡対応 | CFM II,III, SHPM |
attoDRY4000
パルスチューブ冷凍機を使用した無冷媒断熱消磁冷凍機クライオスタットです。ダブルステージ冷却により100mKまで冷却可能で 48時間100mKに保持する能力があります。
主な仕様
| 温度範囲 | 100mK |
| 冷却機構 | 無冷媒断熱消磁冷凍機、シングルショット動作 |
| 試料設置 | 真空中、IVCを外し交換 |
| 温度安定性 | 0.01K以下 |
| 磁場対応 | お問い合わせ下さい |
| 顕微鏡対応 | CFM II,III, AFM I |
attoDRY5000
パルスチューブ冷凍機を使用した無冷媒希釈冷凍機クライオスタットです。室温から20時間以内で最低温度に達します。
- 無冷媒希釈冷凍機クライオスタット
- 温度範囲：12mKから300K
- 冷却能力：250μW 又は 400μW (100mK)
主な仕様
| 温度範囲 | 12mK-300K |
| 冷却機構 | 無冷媒希釈冷凍機 |
| 試料設置 | 真空中、IVCを外し交換 |
| 冷却時間 | 20時間以下 |
| 磁場対応 | お問い合わせ下さい |
| 顕微鏡対応 | CFM II,III, SHPM, AFM I |
atto500-SPM
GM冷凍機を使用した光学クライオスタットにSPMを組み込みました。内部に独自の除震機構を持ち試料部は、数ナノレベルの 振動に抑えてあります。内蔵する顕微鏡ユニットは共焦点顕微鏡(CFM), 原子間力顕微鏡(AFM)から選択可能です。
- attoDRY5-CFM
- フリービーム構成による、極低温用共焦点顕微鏡システムです。幅広い測定に対応し量子ドット、蛍光測定、ラマン測定等可能です。 また使用する対物レンズも、NA0.55から0.95まで選択可能です。
- attoDRY500-AFM
- カンチレバー方式によるAFMを内蔵しており、取扱が非常に簡単になっております。特に試料交換、セットアップを短時間で行うことができます。
主な仕様
| 温度範囲 | 3.5K-350K |
| 冷却機構 | GM冷凍機 |
| 試料設置 | 真空中 |
| 除震機能 | 内蔵 |
| 共焦点顕微鏡 | |
| 顕微鏡 | 共焦点顕微鏡、フリービーム光学系 |
| 測定 | 反射、透過、蛍光 |
| 対物レンズ | 極低温用対物レンズ、高NA型 |
| 対応励起波長 | 400-1500nm, ファイバー接続 |
| 粗動・スキャンステージ | ANPxyz101（粗動範囲:5mmXYZ方向）, ANSxy100 |
| 原子間力顕微鏡 | |
| 顕微鏡 | カンチレバー式AFM、光干渉によるカンチレバー変位検出方式 |
| 測定 | コンタクト、ノンコンタクト、インターミッテントコンタクト、ct-AFM、EFM、MFM |
| AFMカンチレバー | 市販カンチレバーを使用 |
| 粗動・スキャンステージ | ANPxyz101（粗動範囲:5mmXYZ方向）, ANSxyz100 |