attoSHPM 極低温ホールプローブ顕微鏡
SHPMヘッド
MBE成長によるSHPMチップのホールセンサー部とトンネル電流検出用電極。ホールエリアは400nmと250nmがあります。
極低温ホールプローブ顕微鏡(Scanning Hall Probe Microscope for Low Temperature)
attoSHPMは、極低温・高磁場中測定用のコンパクトな走査型ホールプローブ顕微鏡です。その心臓部にはMBEによるGaAs/AlGaAsホールセンサーを使用し 磁場を高感度で検出します。試料上を走査することで、局所的な磁場を測定しマッピングすることができます。非侵襲的に測定が行われますので、超伝導体や磁性体 の研究に最適です。
BaFeOのSHPMイメージ。4.2 K、コンスタントハイトモードにて測定。カラースケールの幅は106mT.
仕組みと構成
attoSHPMでは、数mm程度の可動範囲をもつXYZポジショナーによる粗動機構、ピエゾスキャナー（走査範囲30X30μm@4.2K）とホールセンサーを組み込んだヘッド部からなり ます。ホールセンサーの調整は室温時に行います。注意深く選択された材料とデザインにより、極低温・高磁場中でも高い安定性を持ちます。
SHPMセンサー
ホールセンサーは400nm, 250nmのサイズから選択できます。
| アクティブエリア | 400nm | 250nm |
| 感度 | 1500V/AT | |
| 等価ノイズ磁場 | 15nT/sqrt(Hz) @ 4K, 40μA Hall Current, 80nT/sqrt(Hz) @77K, 40μA Hall Current | |
| 磁場検出限界 | 15μT Typ. (LockIn bandwidth 10Hz @ 277Hz) | |