attoSPHERE　卓上型トンネル顕微鏡

attoSPHERE

attoSPHERE卓上型トンネル顕微鏡

室温用のコンパクトな走査型トンネル顕微鏡です。本体の材質には、主にインバーとセラミックスを使用し、さらに熱膨張を考慮した同軸構造を採用することで、室温の変化によるドリフトを最小限に押さえ、原子分解能を実現しています。attoSPHEREは、最高クラスのクリーンルーム及び高真空に対応します。

円柱状の顕微鏡ヘッドは自動的に中心に配置するように作られています。試料を交換する場合、このヘッドを持ち上げて簡単に試料ホルダーにアクセスできます。ヘッド内部には、75nmのステップ駆動を行うZ軸粗動機構が組み込まれており、高速フィードバックループにより、数分程度で試料へのアプローチを行います。

attoSPHEREでは、試料プラットフォームから顕微鏡ヘッドを持ち上げるだけで簡単に分解することができます。

チップ、試料部は磁力で試料プラットフォームに固定されます。

数秒で、チップ、試料を取り外す事ができます。

attoSPHERE
顕微鏡
STMセンサーユニット	STMチップ, チップ－試料部の光学モニター
STMチップ	Pt/Ir又はタングステンワイヤー、250-500μm径
電流検出	ローノイズアンプ、1E3-1E11 V/A
バイアス電圧	チップに対して電圧印加、試料の電流を測定、レンジ：±10V
バイアス出力ノイズ	100μVpp(10 Hz-100kHz), 20μVpp(10Hz-1kHz)
測定モード
フィードバック	電流または高さ
スペクトロスコピー	電流－距離(I/Z)、電流－電圧(I/V)、コンダクタンス(dI/dV)、ポイントコンタクトスペクトロスコピー
試料ポジショニング
粗動及びスキャナー	ピエゾスキャンチューブ、ピエゾ粗動機構
粗動範囲	5 mm (ステップサイズ：0.05-1.5μm)、粗動アプローチ：75nm
スキャン範囲	1.4μm X 1.4μm
試料モニター	CCDカメラによる試料－チップモニター（オプション）
使用環境
温度範囲	300-400K
圧力範囲	1E-6 mbarから1 bar
寸法
ヘッド部　直径 X 高さ	32.5mm X 43mm
試料プラットフォーム　直径 X 高さ	35mm X 7mm
最大試料サイズ	10mm径または 7mm X 7mm
スキャンコントローラ
ASC500