アトキューブ・システムズ社ECS精密ピエゾステージ
attoEcoSmartDrive
エコスマートドライブシリーズは、小型高精度の精密ピエゾステージです。室温の大気中から超高真空にいたるまで幅広い圧力範囲に対応できます。ナノオーダーの精度でありながら センチメートルオーダー（最大5cm)の可動範囲で位置決めを行うことができます。
クロスローラーベアリング採用による高い耐荷重性と高精度
attoEcoSmartDriveピエゾステージでは、クロスローラーベアリングを内蔵することで、最大240N(約24kg)の高い耐荷重を誇ります。各種の光学部品などを載せて精密なアライメントの調整などに 最適です。また高い剛性と精度を持ち、移動誤差はロール・ピッチ・ヨー角誤差は0.1mrad以内です。
高真空(HV)、超高真空(UHV)中に対応したピエゾステージ、150℃までベーキング可能
高・超高真空中アプリケーション(/HV, /UHV)用にはステンレスを使用しております。/HVタイプで1E-8mbar, /UHVタイプで5E-11mbarの真空度に対応します。 特にUHV用モデルは150℃までベーキング可能です。
エンコーダー内蔵(/NUMオプション)
光エレクトロニクス方式を使用した精密エンコーダーを採用しました。10nmの分解能と±200nmの位置再現性を持ち、位置精度は0.01%以内です。
ブローシャーダウンロード
こちらよりダウンロード出来ます。 ECS Positoner Brochure
| ※1. 荷重、環境に依存します。 | |
|---|---|
| 使用環境 | 空気中、高真空、超高真空 |
| 主な材質 | アルミニウム又はステンレス |
| 最大速度※1 | 1mm/sec (45V, 1kHz), 4.5mm/sec (45V,5kHz) |
| ステップモードスパン | 20-50mm(モデルに依存） |
| 微動モードスパン | 1.6 μm |
| ガイド精度 | ロール・ピッチ・ヨー角 各0.1 mrad (5.7x10-3度)以下 |
| エンコーダー(/NUM) | 分解能: 10 nm, 再現性: ±200 nm, 精度: 0.01% |
| 最大駆動電圧 | 45V |
| 垂直設置時の最大荷重 | 1N |
| 最大保持力 | 4N |
極低温・高磁場中対応ピエゾステージ
ANPシリーズなら、mK領域までの極低温環境、超伝導マグネットによる高磁場中でも使用できます。もちろん超高真空にも対応可能。
| リニアーステージ(型番のリンクよりSpec Sheetがダウンロード出来ます。) | ||||||
| 型番 | 移動距離(mm) | 設置面積x高さ(mm) | 最大サイズx高さ(mm) | 重量(g) | 最大荷重(N)※1 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ESC3030 | 20 | 30x30x9.5 | 30x51.6x9.5 | アルミ:29g ステンレス:51g | 90 |
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| ESC3030/NUM | 20 | 30x30x9.5 | 30x51.6x9.5 | アルミ:29g ステンレス:51g | 90 |
|
| ESC3040 | 25 | 30x40x9.5 | 30x66.6x9.5 | アルミ:39g ステンレス:71g | 120 |
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| ESC3040/NUM | 25 | 30x40x9.5 | 30x66.6x9.5 | アルミ:39g ステンレス:71g | 120 |
|
| ESC3050 | 30 | 30x50x9.5 | 30x81.6x9.5 | アルミ:49g ステンレス:91g | 150 |
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| ESC3050/NUM | 30 | 30x50x9.5 | 30x81.6x9.5 | アルミ:49g ステンレス:91g | 150 |
|
| ESC3060 | 35 | 30x60x9.5 | 30x96.6x9.5 | アルミ:59g ステンレス:110g | 180 |
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| ESC3060/NUM | 35 | 30x60x9.5 | 30x96.6x9.5 | アルミ:59g ステンレス:110g | 180 |
|
| ESC3070 | 40 | 30x70x9.5 | 30x111.6x9.5 | アルミ:69g ステンレス:129g | 210 |
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| ESC3070/NUM | 40 | 30x70x9.5 | 30x111.6x9.5 | アルミ:69g ステンレス:129g | 210 |
|
| ESC3080 | 50 | 30x80x9.5 | 30x131.6x9.5 | アルミ:78g ステンレス:147g | 240 |
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| ESC3080/NUM | 50 | 30x80x9.5 | 30x131.6x9.5 | アルミ:78g ステンレス:147g | 240 |
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| ESC5050 | 30 | 50x50x9.5 | 50x66.6x9.5 | アルミ:49g ステンレス:90g | 150 |
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| ESC5050/NUM | 30 | 50x50x9.5 | 50x66.6x9.5 | アルミ:71g ステンレス:127g | 150 |
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| ローテータ | ||||||
| 型番 | 回転角 | 設置面積x高さ(mm) | センサー分解能 | 重量(g) | 最大荷重(N)※1 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ESR3030/NUM | エンドレス | 30x30x14.7 | 0.1m° | アルミ:32g ステンレス:70g | 20 |
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| ゴニオメータ | ||||||
| 型番 | 移動角度 | 設置面積x高さ(mm) | センサー分解能 | 重量(g) | 最大荷重(N)※1 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ESGt5050 | 10° | 55.4x50x17 | NA | アルミ:138g ステンレス:251g | 10 |
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| ESGt5050/NUM | 10° | 55.4x50x17 | 10μ° | アルミ:142g ステンレス:256g | 10 |
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| ESGp5050 | 10° | 55.4x50x17 | NA | アルミ:137g ステンレス:247g | 10 |
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| ESGp5050/NUM | 10° | 55.4x50x17 | 10μ° | アルミ:141g ステンレス:254g | 10 |
|
※1: 水平設置時
ECC100
ECC100コントローラはエコスマートドライブシリーズ専用のポジショニングコントローラです。\NUMエンコーダーに対応し エコスマートドライブポジショナーを高精度で制御可能です。またフロントパネル操作を省き、コンピュータ制御のみとすることで 低価格化を実現しました。
基本仕様
| チャンネル数 | 3 |
| ポジショナー制御モード | \NUMエンコーダーによるクロースドループ制御, オープンループ制御 |
| 操作 | PCによる専用ソフトウェア、 DLLによるプログラム制御(LabViewドライバー含む) |
| 出力シグナル | 45Vmax, 5kHz (1軸のみ), 2kHz (3軸同時) |
| 出力ノイズ | 50mV |
| トリガー | LVTTLコンパチブル |
| インターフェース | USB2.0, トリガーポート(Dsub15p female) |