アトキューブ・システムズ社のナノポジショナー

アトキューブ・システムズ社(attocube systems)の精密ポジショナーはピエゾ素子により駆動を行い、ナノオーダーのステップ幅とｍｍレンジの移動距離が可能です。リニアーポジショナー、ローテータ（回転）、あおり、スキャナーなどの種類があり、使用環境に応じて、室温(RT)、低温(LT)、高真空(HV)、超高真空(UHV)、及び低温+高真空(LT/HV)、 低温＋超高真空(LT/UHV)のモデルがあります。またエンコーダー内蔵型では移動と同時に位置の変位を読み取ることができます。エンコーダーには使用環境と精度に応じて2種類あります。

主なアプリケーション

• 走査型プローブ顕微鏡(SPM)等の試料位置決め
• レーザー光や光ファイバーなど各種デバイスのアライメント・位置調節
• 製造分野及び品質管理分野における走査型電子顕微鏡内での試料、ウェーハー、チップアライメント調節
• 放射光や中性子散乱測定における試料回転
• 極低温・強磁場環境中の試料角度依存測定

製品の構成・特徴

• 材料：チタン（標準）の他、ベリリウム銅やマコール（セラミック）などが可能です。
• 高精度の位置決めのためにエンコーダー内蔵型（NUM, RES)もございます。
• ピエゾ素子による駆動のため、さまざまな環境で安定に動作します。
• 使用環境に応じて各ポジショナーには室温用（ＲＴ）、高真空用（ＨＶ）、超高真空（ＵＨＶ）、低温用（ＬＴ）等が用意されております。
• 複数のポジショナーを組み合わせることで多軸の制御を行えます。
• リニアーポジショナーではミリメートルオーダーの移動距離を確保、回転ポジショナー（ローテータ）ではエンドレスに回転します。

ブローシャーダウンロード・仕様表

こちらからブローシャーをダウンロード出来ます。また各ポジショナーの詳細な仕様は 各タブ中の表中の型番をクリックすることでダウンロード出来ます。

高荷重用にはECSシリーズ

高荷重用にはクロスローラベアリングを使用したECSシリーズピエゾステージがあります。0-100℃の使用温度範囲があり、常温にて空気中から超高真空(/UHVモデル)まで対応します。また超高真空対応モデルは150℃までベーキング可能です。