attocube systemsのナノポジショナー
attocube社の精密ポジショナーではサイズ・移動方向以外に使用環境に応じて、室温(RT)、低温(LT)、高真空(HV)、超高真空(UHV)、及び低温+高真空(LT/HV)、 低温＋超高真空(LT/UHV)のモデルがあります。また更に定量的に位置測定をするエンコーダーが三種類あります。
主なアプリケーション
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)等の試料位置決め
- レーザー光や光ファイバーなど各種デバイスのアライメント・位置調節
- 製造分野及び品質管理分野における走査型電子顕微鏡内での試料、ウェーハー、チップアライメント調節
- 放射光や中性子散乱測定における試料回転
- 極低温・強磁場環境中の試料角度依存測定
製品の構成・特徴
- 材料：チタン（標準）の他、ベリリウム銅やマコール（セラミック）などが可能です。
- 高精度の位置決めのためにエンコーダー内蔵型（OPT, RES, IND)もございます。
- 使用環境に応じて各ポジショナーには室温用（ＲＴ）、高真空用（ＨＶ）、超高真空（ＵＨＶ）、低温用（ＬＴ）等が用意されております。
- 複数のポジショナーを組み合わせることで多軸の制御を行えます。
| 形式 | 表記 | 特徴 |
|---|---|---|
| ※RTの場合温度範囲は0-100℃、LTでは1K以下-300Kとなります。 | ||
| ※型式・モデルにより可能な環境が異なりますので御了承ください | ||
| 室温用 | RT | 室温において低真空(1E-4mbar程度)から大気中までの環境で使用できます。高荷重用、高スピード用など様々なカスタマイズが可能です |
| 高真空用 | HV | 高真空領域(1E-8mbar程度)まで環境で使用できます。高真空環境に対応した材料が使用されます |
| 超高真空用 | UHV | UHV対応の材料が使用され150℃でベーキング可能です。UHV環境で出荷前試験が行われアウトガスが1E-10mbar*l/s以下であるものが出荷されます |
| 低温用 | LT | 極低温環境に適した材料を使用し、４Ｋ出荷前試験を行います（ヘリウムガス中）。通常のクライオスタット中の真空で問題なく動作します |
| マコール | MACOR | 材料としてセラミックの一種であるマコールを使用します。環境は低温及びUHVに対応します。パルス磁場中など金属材料を嫌う環境に適しています |
| カスタム | CUSTOM | SQUIDの使用などで材質磁性を避けたい場合、超伝導体を避けたい、或いは散乱を抑えるため材質を変えたい等attocubeでは様々な要求に対して対応しております |
| 形式 | 表記 | 仕組み | 特徴 |
|---|---|---|---|
| ※仕様・デザインは予告なく変更することがございますのでご了承ください | |||
| 光学式 | OPT | ポジショナーに取り付けられたグレーティングにレーザーを当てて光の信号をカウントすることで移動距離を測定します。分解能は100-200nmdesu | 移動距離に対して高い相対精度を持ちます。ただし内部に基準となるゼロ点を持たないので絶対位置は別に決める必要があります |
| 抵抗式 | RES | 内部に抵抗体を持ちポテンショメータとして機能します。抵抗の測定により移動距離を決定しますので位置の絶対測定が可能で、5μ程度の精度があります。 | 読み出し用に電気配線を使用していますので空間の制約が少なくクライオスタット内でも容易に使用することができます。 |
| 高精度 | NUM | Numerik Jena社のエンコーダーを使用することで50nmの分解能を持ちます。また内部のゼロ点により絶対位置測定が可能です。 | 最も高い精度を持ちます。また電気配線により読み出しを行うのでスペースの制約を受けにくくなっています。対応環境は室温及びHV, UHVです |
| 型番 | 概要 | サイズ | 移動距離 | 最大荷重 | |
|---|---|---|---|---|---|
| ANPz30 | 小型垂直移動用リニアーポジショナー | Ø11x11 | 3 | 10 |  |
| ANPx51 | １インチ空間用、小型水平移動用リニアーポジショナー | 15x15x9.2 | 4 | 25 |  |
| ANPz51 | １インチ空間用、小型垂直移動用リニアーポジショナー | 15x15x13.5 | 3 | 50 |  |
| ANPx101 | ２インチ空間用、水平移動用リニアーポジショナー | 24x24x11 | 5 | 100 |  |
| ANPz101 | ２インチ空間用、垂直移動用リニアーポジショナー | 24x24x18 | 5 | 200 |  |
| ANPx101/NUM | オプトエレクトロニックエンコーダー機構付きANPx101 | 24x24x11.5 | 5 | 100 |  |
| ANPz101/NUM | オプトエレクトロニックエンコーダー機構付きANPz101 | 24x24x18 | 5 | 200 |  |
| ANPx101/RES | 抵抗エンコーダー機構付きANPx101 | 24x24x11 | 5 | 100 | |
| ANPz101/RES | 抵抗エンコーダー機構付きANPz101 | 24x24x18 | 5 | 100 | |
| ANT200/NUM | オプトエレクトロニックエンコーダー機構付き水平移動用大型ステージ | 45X45X11 | 7 | 200 |  |
| 型番 | 動作 | サイズ | 移動距離 | 最大荷重 | |
|---|---|---|---|---|---|
| ANR30 | 超小型ローテーター | Ø10x8.9 | 360 | 10 |  |
| ANR50 | １インチ空間用ローテーター | Ø20x10.6 | 360 | 30 |  |
| ANR50/RES | 抵抗エンコーダー内蔵１インチ空間用ローテーター | Ø20x11.2 | 360 | 30 |  |
| ANRv50 | １インチ空間用、垂直設置型ローテーター | 8.5x20x21 | 360 | 30 |  |
| ANRv50/RES | 抵抗エンコーダー内蔵１インチ空間用、垂直設置型ローテーター | 8.5x20x21.5 | 360 | 30 |  |
| ANR101 | ２インチ空間用、ローテーター | Ø30x15.2 | 360 | 100 |  |
| ANR101/NUM | オプトエレクトロニックエンコーダー付きANR101 | Ø30x17.8 | 360 | 100 |  |
| ANR101/RES | 抵抗エンコーダー付きANR101 | Ø30x15.8 | 360 | 100 |  |
| ANRv101 | ２インチ空間用、垂直設置型ローテーター | 15x30x33 | 360 | 100 |  |
| ANRv101/RES | 抵抗エンコーダー付きANRv101 | 15.6x30x33 | 360 | 100 |  |
| AND100 | ロープロファイルローテーター | Ø14x3.3 | 360 | 10 |  |
| 型番 | 動作 | サイズ | 移動距離 | 最大荷重 | |
|---|---|---|---|---|---|
| ANSxy50 | １インチセットアップ用ＸＹスキャナー | 15x15x7 | 20x20 | 50 |  |
| ANSz50 | １インチセットアップ用Zスキャナー | 15x15x6 | 20x20 | 50 |  |
| ANSxy100 | ２インチセットアップ用ＸＹスキャナー | 24x24x10 | 40x40 | 100 |  |
| ANSz100 | ２インチセットアップ用Zスキャナー | 24x24x10 | 24 | 100 |  |
| ANSz100sr | ２インチセットアップ用Zスキャナー(小レンジ) | 24x24x10 | 4.3 | 100 |  |
| ANSxyz100 | １インチセットアップ用ＸＹＺスキャナー | 24x24x10 | 40x40x24 | 100 |  |
| ANSxyz100sr | １インチセットアップ用ＸＹＺスキャナー(小レンジ) | 24x24x10 | 40x40x4.3 | 100 | |
| 型番 | 動作 | サイズ | 移動距離 | 最大荷重 | |
|---|---|---|---|---|---|
| ANGt50 | 1インチセットアップ用Θステージ | 15x15x10 | 7.2 | 25 |  |
| ANGp50 | 1インチセットアップ用Φステージ | 15x15x10 | 5.8 | 100 |  |
| ANGt101 | ２インチセットアップ用Θステージ | 24x24x11 | 6.6 | 100 |  |
| ANGp101 | ２インチセットアップ用Φステージ | 24x24x11 | 5.4 | 100 |  |
| ANGt101/RES | 抵抗エンコーダー内蔵ANGt101 | 24x24x11 | 6.6 | 100 | |
| ANGp101/RES | 抵抗エンコーダー内蔵ANGp101 | 24x24x11 | 5.4 | 100 | |
