alpha300A 原子間力顕微鏡
alpha300A 原子間力顕微鏡
高機能かつユーザーフレンドリー
alpha300Aは光学顕微鏡とAFMの組合せにより使いやすさと、高機能な試料観察の両方を兼ね備えています。 顕微鏡下で、カンチレバーと試料を同時に目視できますので、カンチレバーの位置あわせやアライメントがすばやく行うことが出来ます。
AFM測定モード
標準的なAFMの測定モードは全て対応しております。空気中及び液中測定、さらにデリケートな試料や軟らかい試料の測定にもalpha300A は最適な測定環境を提供いたします。また局所的な粘着性や剛性等の測定にパルス・フォースモード(オプション)を取り付けることが出来ます。
ラマンイメージング機能の追加
非常に高いリニアリティを持った電気容量タイプのフィードバック機構をもつスキャンステージの採用と、ダイナミックエラー補正機能(TrueScanTM)により 大型の試料でも全スキャンレンジにわたって高い精度で測定を行うことが出来ます。また共焦点ラマンイメージング機能の追加でAFMによるトポグラフィーの情報とラマン分光による 化学的組成によるイメージングをサブミクロンレンジの領域でリンクしながら解析を行うことが可能です。
高い自由度とコンパクトな設置
| 動作モード | |
| コンタクトモード、水平力 | |
| パルスフォースモード | |
| ACモード、フェーズイメージ | |
| 磁気力モード | |
| ナノリソグラフィー、ナノマニュピレーション | |
| 温度制御ステージ | |
| 空気中測定、液中測定 | |
| 除震機構 | |
| アクティブ除震テーブル | |
| ローノイズ | |
| スキャンステージ | |
| ピエゾ方式による駆動 | |
| キャパシタンスセンサーによるフィードバック | |
| TrueScanTMダイナミックポジションコントロール | |
| スキャンレンジ | 100X100X20μ(オプションにより200X200X20μ可) |
| ソフトウェア | |
| WITec Controlによる測定制御及びデータ集録 | |
| WITec Projectによるポストプロセス | |
| ビームデフレクションレーザー | |
| ローノイズ、低干渉 | |
| モジュラーデザイン | |
| 共焦点ラマンイメージング機能の追加 | |
| 近接場光顕微鏡機能の追加 | |
AFM image of the cross hatch pattern of a Si/SiGe strained epitaxial film on silicon. Scan range is 20 µm x 20 µm and the topography scale is 30 nm.
化学組成像とSNOMイメージの組合せ
共焦点ラマンイメージアップグレードによりalpha300Sにalpha300R 共焦点レーザーラマン顕微鏡の機能を追加することが出来ます。これによりSNOMで得られた画像とラマンイメージを対応することが可能になります。 機能の切替は顕微鏡のターレットを回すだけの手軽さで行うことができ、SNOMだけでは得られなかった化学組成による識別が可能になります。
ラマンアップグレード
共焦点ラマンイメージアップグレードでは、alpha300Rの機能の全てが含まれています。 また同一の制御ソフトウェアー(WITec Control, WITec Project)を使用しますので操作に戸惑う事がありません。
Aperture at the apex of the hollow pyramid. Aperture size 100 nm (others optional). The inset shows a side view of the Cantilever SNOM Sensor.
AFM-Image of a PMMA-SBR polymer blend. Scan Range: 20x20 µm
SNOM Upgrade: 近接場光顕微鏡機能の追加
回折限界を超えた光学測定:alpha300Rでは近接場光顕微鏡を追加することで共焦点レーザーラマン顕微鏡と 原子間力顕微鏡、更に近接場光顕微鏡の機能を一台の装置で実現することが出来ます。またWITecの近接場光顕微鏡では 独自のカンチレバー式SNOMセンサーを採用しておりますのでSNOM測定においても光学イメージと同時にトポグラフィー を得ることが可能です。各機能の切替では単に顕微鏡のターレットを回すだけの手軽さです。
WITecのコントロールソフトウェアでは全ての機能を一つのソフトウェアで操作可能です。
AFM-Image of a PMMA-SBR polymer blend. Scan Range: 20x20 µm
パルスフォースモード
パルスフォースモード(PFM)は、AFMで使用できる半コンタクトモード測定法であり、通常のコンタクトモードでは起こりやすい 軟らかい試料の表面のダメージを避けて測定することが可能です。パルスフォースモードの追加により通常AFMで得られるトポグラフィー以外に局所的 硬さ、接着性、粘性、エネルギー散逸、他幅広い表面の物性を調べる事が可能です。また毎秒数千カウントの速度で行いますので通常のスキャン速度を損なうことがありません。
The PFM electronics introduces a sinusoidal modulation to the z-piezo of the AFM with an amplitude of 10-500 nm at a user-selectable frequency between 100 Hz and 2 kHz, far below the resonance frequency of the cantilever. A complete force-distance cycle is carried out at this repetition rate resulting in the shown the resulting force signal.
制御系とソフトウェア
パルスフォースモードの制御エレクトロニクスには高速データ集録、プログラマブルモジュレーション発生器、リアルタイムデータ処理系からなります。 全ての情報が蓄えられているので付属のソフトウェアにより、測定後の解析も容易に行うことが出来ます。












