alpha300S カンチレバー式近接場光顕微鏡
alpha300S カンチレバー式近接場光顕微鏡
高い信頼性と高度なSNOM観察 回折限界を超える: alpha300S近接場光顕微鏡では共焦点顕微鏡、近接場光顕微鏡、及び原子間力顕微鏡の機能を 一台に含まれておりターレットを回すだけの気軽さで測定手法を切り替えて使うことが出来ます。
カンチレバー
WITec社の近接場光顕微鏡では独自のカンチレバー方式を採用しており、ファイバープローブ方式に比べ解像度・透過特性・信頼性及び取り扱いの容易さにおいて はるかに優れております。 使用しているカンチレバーは先端にピラミッド状の構造を持ち先端に近接場光用の微細な穴が開いている構造を持っています。またカンチレバーの 試料表面からの距離制御にはAFMと同様のレーザー光の反射の検出を用いているため、SNOMとしての測定と同時にトポグラフィーの測定が行うことが出来ます。
Aperture at the apex of the hollow pyramid. Aperture size 100 nm (others optional). The inset shows a side view of the Cantilever SNOM Sensor.
Application and Measurements 分光器
Nano-Photonics application of SNOM: Suface Plasmon Polariton Wave (courtesy Prof. Brongersma, Stanford University)
透過、反射、蛍光測定など標準的な測定モードは全て対応しております。またAFMカンチレバー使用時には 標準的なAFM測定がすべて可能です。aplha300Sでは高いフレキシビリティを持っており個別の要求に合わせた カスタマイゼーションも容易です。
高い自由度とコンパクトな設置
コンパクトで、設置に対して自由度が高いので実験室のスペースを有効に使用できます
| 対応測定モード(一部オプションとなります) | |
| 近接場光顕微鏡 | 透過、反射、蛍光、偏光、リソグラフィー、空気中及び液中観察、加熱・冷却ステージ |
| 共焦点顕微鏡 | 透過、反射、蛍光、ラマン分光、偏光、空気中及び液中観察、加熱・冷却ステージ |
| 原子間力顕微鏡 | コンタクト、ACモード、パルスフォースモード、MFM,ナノリソグラフィー、ナノマニュピレーション、空気中及び液中観察、過熱・冷却ステージ |
| 励起レーザー | |
| 複数のレーザー使用可、測定に応じて切替、シングルモードファイバーで接続 | |
| プローブ | |
| カンチレバー型SNOMセンサー、アパーチャーサイズ約100nm( 他のサイズあり) | |
| AFMカンチレバーセンサー | |
| カンチレバー制御方式 | |
| ビームデフレクション方式 | |
| 光学系 | |
| 正立光学顕微鏡及び倒立顕微鏡 | |
| モーター駆動による焦点合わせ機構 | |
| カラービデオCCD,高感度白黒CCDも可 | |
| カンチレバー及び試料の同時観察 | |
| ピエゾモータステージによるカンチレバーアライメント調節 | |
| 自動アプローチ機能 | |
| 光学的分解能 | |
| 近接場光顕微鏡 | 100nm(カンチレバーのアパーチャーサイズによる) |
| 共焦点顕微鏡 | 200nm(または回折限界) |
| 線形スキャンステージ | |
| ピエゾ駆動によるフィードバック制御方式 | |
| キャパシタンスセンサーによるフィードバック制御 | |
| True ScanTMによるダイナミック位置制御 | |
| スキャン範囲 | 100X100X20μm(200X200X20μmも可) |
| 検出器 | |
| PMT, APD, 分光器(オプション) | |
| 励起レーザー | |
| 複数レーザー使用可(手動による切替)、シングルモードファイバーによる接続 | |
AFM image of the cross hatch pattern of a Si/SiGe strained epitaxial film on silicon. Scan range is 20 µm x 20 µm and the topography scale is 30 nm.
化学組成像とSNOMイメージの組合せ
共焦点ラマンイメージアップグレードによりalpha300Sにalpha300R 共焦点レーザーラマン顕微鏡の機能を追加することが出来ます。これによりSNOMで得られた画像とラマンイメージを対応することが可能になります。 機能の切替は顕微鏡のターレットを回すだけの手軽さで行うことができ、SNOMだけでは得られなかった化学組成による識別が可能になります。
アップグレードの構成
共焦点ラマンイメージアップグレードでは、alpha300Rの機能の全てが含まれています。 また同一の制御ソフトウェアー(WITec Control, WITec Project)を使用しますので操作に戸惑う事がありません。
Aperture at the apex of the hollow pyramid. Aperture size 100 nm (others optional). The inset shows a side view of the Cantilever SNOM Sensor.













