alpha500,700大型試料用共焦点ラマン顕微鏡

ラマン分光とAFMを兼ね備えた自動測定システム

左図：錠剤のラマンイメージ

alpha500大型試料用共焦点レーザーラマン顕微鏡は、 大型試料に対して何百点ものラマン分光とAFMのイメージングをオペレータの介在なしに行う画期的なシステムです。可動範囲100X150mmの大型精密ステージ と100X100X20μのピエゾ駆動ステージを組み合わせることでラマンイメージング及びAFMを高精度で行うことが可能になりました。 これによりユーザーが指定した任意の点についてラマンによる化学組成に基づいたイメージとAFMのトポグラフィーイメージをリンクすることで今までにない 新たな試料解析が可能になります。

自動測定用ソフトウェア

シークエンサー機能を初め、ラマン分光測定に必須なオートフォーカス機能、AFMオートアプローチなど各種の自動化ルーチンを持ち、ルーチン化された測定に威力を発揮します。

カタログ

• alpha500カタログ

ハイエンド大型試料用自動表面検査ツール

alpha700はalpha500と同様の測定機能を持ち、試料ステージの可動範囲を300X350mmのものを採用しています。試料ホルダーは個別の 要求に応じてカスタマイズ可能です。

例えば300mmウェハーの欠陥検査などは容易に行うことができ、ラマン分光による応力分布とAFMによる微細構造観察を自動化したシークエンスにより実行できます。