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レーザー干渉変位計

レーザー干渉変位計

IDS3010

IDS3010

レーザー干渉変位計

attocube社のレーザー干渉変位計は、ナノメーターレベルの精度及び数メートルの作動距離を実現したレーザー干渉変位計です。
元々、数インチの限られた極低温空間で走査型プローブ顕微鏡に使用することを想定して作製されたFPS3010に対し、IDS3010はFPS3010の変位計測性能を維持しながらより安価で小型・アライメント用可視光レーザー内蔵し、産業用・システムインテグレーションに最適化した製品です。

 

特長

  • ナノメーターレベルの精度
  • 数メートルの作動距離
  • 極低温・超高真空など、過酷な環境下で使用可能
  • 最小直径1.2mm、小さなセンサーヘッド
  • ガラスや屈曲物も測定可能
  • 10MHzの高速応答性
  • 広い許容アライメント角度と最高レベルの使い勝手の良さ
  • 安価で小型・アライメント用可視光レーザー内蔵
  • キャリブレーションにより、数µmレベルでの測長が可能

 

仕様

センサ/th>
センサの数 3
計測範囲 0から最高5000mm
分解能 1 pm
位置再現性 2nm (作動範囲:10mm 、真空中)
対象物の最大速度 2 m/s
測定帯域幅 最高10MHz(AquadB)、約100kHz(USB)
安定性(2σ) 0.110nm(作動距離:77mm 、-269°C)
操作モード
測定モード 変位
リモート操作 組込ウエブサーバー
出力シグナル sin/cos, AquadB, HSSL (フィールドバスシステムはオプション)
変位測定用シグナル IRレーザー(1530 nm)
アライメント用シグナル 可視光レーザー(650 nm)
センサアライメント調整 組込ウエブサーバー、DLLS
センサ初期化 組込ウエブサーバー、DLLS
インターフェイス
センサ初期化 全自動
アナログインターフェイス sin/cos(リアルタイム)
デジタルインターフェイス AquadB, HSSL(リアルタイム)
フィールドバスインターフェイス(オプション) Biss-C, 以下要問合せ EtherCAT, CANopen, Profinet, Profinet RT
コントローラ
筐体 50 x 55 x 195 cm3
重量 730g
電力供給 12V DC
消費電力 8W
測定レーザー
レーザーソース DFBレーザー
レーザーパワー 400µW
レーザークラス クラス1
レーザー波長 1530nm
波長安定性 50ppb

 

レーザー干渉変位計FPSの構成と関連アプリケーション

  • センサーヘッドは、設置スペース・設置環境(温度・真空度)・測定距離/変位量・対象物(材質と表面状態)等をお聞きし、最適なものをご紹介します。
  • 環境補正キッドや角度測定オプション、データマーカーオプションの他、真空フィードスルー等のアクセサリーもご用意しています。
  • データ取得はLVTTLのシグナルを読み込める回路が必要です。

 

センサーヘッド

使用環境や測定対象物、用途によって選択可能です。対物レンズや高温用ヘッドなどの各種カスタマイズも承ります。

環境補正キット

空気中でも1ppm以下に誤差を抑えます。

 

 

ファイバー

ファイバー長やジャケット材料の変更も可能です。

真空フィードスルー

ファイバー用光学フィードスルー。

レトロリフレクタ

長距離測定でのアライメント調整に便利です。

 

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