レーザー干渉変位計

• IDS3010

 

attocube社のレーザー干渉変位計は、ナノメーターレベルの精度及び数メートルの作動距離を実現したレーザー干渉変位計です。 元々、数インチの限られた極低温空間で走査型プローブ顕微鏡に使用することを想定して作製されたFPS3010及びIDS3010は、下記特長をもつ高精度・高機能且つ汎用性も高い魅力的な製品です。 FPS3010は、データの可視化と保存が可能なソフトウエアが付属しているため実験への利用に適し、IDS3010はより安価で小型・アライメント用可視光レーザー内蔵のためシステムインテグレーションに適しています。

 

ナノメーターレベルの精度

2σが約0.3nmの長期安定性(12hr,100Hz,WD:20mm)及び約0.04nmの短期安定性(10sec,10Hz,WD:30mm)があります(極低温・高真空下)。位置再現性は2nm(WD:10mm)、分解能は1pmです。 空気中でもWDの1ppm以下に誤差を抑える環境補正キットがあります。

長い作動距離

コリメーションレンズを使用すれば、FPS3010はセンサーヘッドからのターゲットの距離が0mから3m、IDS3010は0mから5mまでの変位計測が可能です。ただし、焦点レンズである極小センサーヘッドは約15mmの測定範囲に限定されます。

極低温・超高真空など、過酷な環境下で使用可能

センサーヘッドが本体と分離しておりファイバーでつながっているため、液体ヘリウム温度以下、5×10^-11mbarにも設置可能なセンサーヘッドが選択できます。

高速測定

内部の測定の帯域幅は10MHzです。

広い許容アライメント角度と最高レベルの使い勝手の良さ

特許技術により、慣れれば目視でアライメント調整できるほど簡単です。極小センサーヘッドとA4サイズ同等の筐体・100V電源で作動するため、簡単に持ち運べる省スペース干渉変位計です。