ROCKGATE BLOGロックゲートブログ

2017-12-01

精密位置決めステージ

工業向けピエゾステージ

ECSポジショナーのVIDEOをご一緒にどうぞ

ECSポジショナー

ロックゲートブログの読者の皆様、おはようございます。

総務の渡辺でございます。

 

今朝は雨で始まった一日ですが、朝 地下鉄千代田線に乗車しようといたしましたところ、車両点検のために電車がSTOPしておりました。

そのため、徒歩で会社に向かいましたが、開店当日のコンビニエンスストアでコーヒーを購入し、店員さんに聞いてみれば私が2番目の客とのことでした。

1番で無く残念でした(笑)

 

それでは本日は徒歩で疲れた身体を独国attocube systems社のECSナノポジショナーで癒すことと致しました。

よろしかったら是非、読者の皆様もご一緒にご覧くださいませ。 

 

 

 

 

 

それでは総務のチカラでこのECSについてご案内申し上げます。

ECSポジショナーは、換言すればピエゾステージや位置決めステージなどの表現もございます。

総務だけの知識では表現が少ししか出てまいりませんため、弊社技術者に只今インタビューをしてまいりましたところ、精密位置決め装置、ピエゾアクチュエーターという表現も有ることを仕入れました!!

言葉の表現はさまざまございますでしょうが、いづれもお使いになられる方々のバックグラウンドにより、異なってまいります。

話がそれてしまいますが、【ちょうでんどう】が【超電導】を使われたり、【超伝導】が使われたりに似ておると総務は思いました。

 

ちなみに私が弊社webサイトから入手いたしました情報によりますと、ECSシリーズピエゾステージの動作原理は以下の通りです。

  1. 可動テーブル部がロッドに対して固定しており(Sticking phase)、ロッドとともに移動します。ロッドの端にはピエゾアクチュエータが固定されています。このピエゾアクチュエータにノコギリ波を加えます。
  2. ノコギリ波のスロープ状になっている場所では、可動テーブルはロッドとともに移動します。この時の移動量はピエゾアクチュエータに加えられた電圧に比例します。ANPピエゾステージではこのステップは室温で約50nm程度です。また極低温では10nm程度に小さくなります。
  3. ノコギリ波の垂直に電圧が下がるところでは、ピエゾアクチュエータが急激に元の長さに戻るため、可動テーブル部は慣性によりロッドに対して滑り、可動テーブルはほぼその位置に留まります。これで1つのサイクルが完了し、サイクルを繰り返すことで可動テーブルは大きな距離を移動することができます。

 

そしてこれらステージは組み合わせて使用することが可能でございます。

 

私の案内ではどうも底が浅くなってしまいますため、ご興味がございましたらどうぞECSポジショナーページをご参照下さいませ♪

 

それではロックゲートブログの読者の皆様☆

本日も一日頑張って、良い週末をお迎えくださいませ♪

 

 

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