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レーザー干渉変位計

FPS/IDSアクセサリ・オプション

角度測定オプション

角度測定オプション

FPS/IDS用オプション

角度測定のオプションをつけることにより、高精度な角度のばらつきを測定できます。ソフトウェアにより、3つのセンサヘッドを並行でプロセスする仕様になっています。

 

仕様

一般仕様
軸数 3軸(α,β,リニア)
センサ距離 最大3000mm
帯域幅 10MHz
位置出力 USB, AquadB, HSSL
解像度
角度1 10µ° (170nrad)
リニア 1pm
範囲
角度1 ±5°C
リニア 0-3000mm
誤差 2×10-8(@1°)
5×10-5(@5°)

 

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