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レーザー干渉変位計

FPS/IDSアクセサリ・オプション

ファイバー

ファイバー

FPS/IDS用オプション

角度測定のオプションをつけることにより、高精度な角度のばらつきを測定できます。ソフトウェアにより、3つのセンサヘッドを並行でプロセスする仕様になっています。

 

仕様

FPSMF/PC/RT IDSMF/PC/RT FPSMF/APC/RT IDSMF/APC/RT
使用環境 大気中(0-100°、1×10-4mbar ~ 10bar)
外径 900µm 3mm
長さ 5m
曲げ半径 4cm
ジャケットセンサ ハイトレルチューブ PVC
コネクタ FC/PC-FC/APC FC/PC-SC/APC FC/APC-FC/APC FC/APC-SC/APC
用途 センサヘッド/本体間 フィードスルー/本体間

 

FPSMF/LT IDSMF/LT FPSMF/HV IDSMF/HV
使用環境 mK-423K, 1×10-4mbar ~ 10bar 0-150°C, 1×10-8mbar ~ 10bar
外径 250µm
長さ 2m
曲げ半径 4cm
ジャケットセンサ アクリレート
コネクタ FC/PC-FC/APC
用途 センサヘッド/フィードスルー間

 

FPSMF/UHV IDSMF/UHV FPSMF/RAD IDSMF/RAD
使用環境 0-150°C, 1×10-10mbar ~ 10bar 0-150°C, 放射線量10MGy以下
外径 155µm
長さ 2m
曲げ半径 4cm
ジャケットセンサ pyrocoat ポリイミド
コネクタ FC/PC-FC/APC
用途 センサヘッド/フィードスルー間

 

センサヘッド名称:

FPSHモデルは、FPS3010,FPS1010,FPS19と使用します。
IDSHモデルは、IDS3010です。

 

環境:

RT (0-100°C, 1×10-4~10bar)
HV (0-150°C, 1×10-8~10bar)
UHV (0-150°C, 1×10-10~10bar)
LT (mK-423K(150°C), 1×10-4~10bar)
RAD (0-150°C, 放射線量10MGy以下)

 

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