PRODUCTS製品案内

精密位置決めステージ

ポジショニングシステム

hexaCUBE190

hexaCUBE190

6軸精密ステージ

hexaCUBE

hexaCUBE190はピエゾ駆動の6つの直動ポジショナーECS5050/HL、高性能なボールジョイント、直動ベアリングと共に構成されています。標準のサイズは190x180x105mm3で、動作範囲はx,y,z軸±15mm以上です。また、回転は各軸±19°以上の使用となっています。

仕様

外観, 動作
サイズ 190 x 216 105 mm
最大高さ 125 mm
アパーチャ 25.4 mm
重量 1.95 kg
荷重 0.7 kg
可動範囲
X軸 ±15 mm
Y軸 ±15 mm
Z軸 ±20.0 mm
X軸 +33°/-19°
Y軸 ±21°
Z軸 ±19°
位置再現性(1&sigma)
x,y,z 50 nm
Θxyz 1 µrad
物理特性
材料 アルミ, ステンレス, プラスチック
剛性 1 N/µm(x,y), 3 N/µm(z)
動作環境
温度範囲 0-100 °C
真空度 HV, UHV環境対応はお問い合せ下さい
コントローラ
ECC100/PROを2台使用します。

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