PRODUCTS製品案内

FPS/IDSアクセサリ・オプション

 

attocube社のレーザー干渉変位計は、ナノメーターレベルの精度及び数メートルの作動距離を実現したレーザー干渉変位計です。センサーヘッドの選択以外にも、数々のオプションがあります。

 

 

FPS専用アクセサリ、オプション

FPS-ECU

FPS用環境補正ユニット

角度測定オプション

角度測定ソフトウェア、センサーヘッドブラケットあり、なし

ソフトウェアアップグレード

Ethernetオプション, データーマーカー

ケーブルオプション

HDMI-SubDケーブル

光学部品キット

アライメント用レーザー、ファイバークリーニング、センサーヘッド用マウントなどが含まれます。

IDS専用アクセサリ、オプション

IDS-ECU

IDS用環境補正ユニット

FPS/IDS共通アクセサリ、オプション

真空フィードスルー

KFフランジまたはCFフランジにFC/APCフィードスルーが付いています。1軸または3軸用。

ミラー、レトロリフレクター

ターゲットセットアップ用、テスト用に

光ファイバー