PRODUCTS製品案内

極低温SPM

先端アプリケーション用SPM

SEM中SPM

SEM中SPM

SEM組込み用SPM

SPM for SEM

attocubeでは高真空のノウハウとSPMの経験を活かし、各種のSEM中SPMシステムを提供します。

写真は、カンチレバー式AFM, attoAFM IをSEM中に組み込んだ例です。45&degに傾けた配置を採用することでチップと試料をSEM観察することができます。市販のAFMカンチレバーが使用できるため、SEM中で磁気的・電気的測定など様々な測定が行えます。

この他、チューニングフォーク式AFM, プローブステーションなど可能です。

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