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レーザー干渉変位計

FPS/IDSアクセサリ・オプション

真空フィードスルー

真空フィードスルー

FPS/IDS用オプション

 

KFフランジ

KF16からKF63までのサイズのFC/APC光学フィードスルーを取り扱っています。最大3つのフィードスルーがあります。10-8mbarまでの真空での使用に対応します。

 

CFフランジ

CF16からCF63までのサイズのFC/APC光学フィードスルーを取り扱っています。最大3つのフィードスルーがあります。5×10-11mbarまでの超高真空、180℃まで高温の環境に対応します。