PRODUCTS製品案内

精密位置決めステージ

極限環境用ピエゾステージ

真空フィードスルー

真空フィードスルー

ANP用真空フィードスルー

真空フィードスルー
極限環境下用ピエゾステージはしばしば真空中に設置されるため、空気中にあるコントローラとは、真空フィードスルーを介して接続されます。真空度によりKFフランジ、CFフランジを選択します。

    

AAP

オープンループピエゾステージ用

  • VFT3/KF40
  • VFT3/CF40

 

スキャナー用

  • VFT7/SCN/KF40
  • VFT7/SCN/CF40

 

NUMエンコーダー内蔵ピエゾステージ用

  • VFT1/NUM/KF40
  • VFT3/NUM/KF63
  • VFT1/NUM/CF40
  • VFT3/NUM/CF63

 

RESエンコーダー内蔵ピエゾステージ用

  • VFT3/RES/KF40
  • VFT3/RES/CF40

 

選定の仕方

フランジ:KFまたはCFから選択します。サイズは40mmまたは63mmとなります。
フランジサイズにより1個または3個のDsub15ピンコネクターが使用できます。
上記フィードスルーには真空中でピエゾステージに接続するためのケーブル(カプトン被覆、長さ50cm)およびコントローラからフィードスルーまでのケーブル(長さ2m)が付属します。

モデル名

モデル名は4つの部分からなりそれぞれ次の意味があります。
“VFT3/RES/CF40”
“VFT” 真空フィードスルーを意味します
“3” は3本のケーブルを接続できることを意味しています
“/RES” は抵抗式エンコーダーに対応します
“/CF40”はフランジのタイプとサイズを示しています。

 

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