PRODUCTS製品案内
レーザー干渉変位計 Displacement Sensor
レーザー干渉変位計
IDS3010
レーザー干渉変位計
attocube社のレーザー干渉変位計は、ナノメーターレベルの精度及び数メートルの作動距離を実現したレーザー干渉変位計です。
元々、数インチの限られた極低温空間で走査型プローブ顕微鏡に使用することを想定して作製されたFPS3010に対し、IDS3010はFPS3010の変位計測性能を維持しながらより安価で小型・アライメント用可視光レーザー内蔵し、産業用・システムインテグレーションに最適化した製品です。
特長
- ナノメーターレベルの精度
- 数メートルの作動距離
- 極低温・超高真空など、過酷な環境下で使用可能
- 最小直径1.2mm、小さなセンサーヘッド
- ガラスや屈曲物も測定可能
- 10MHzの高速応答性
- 広い許容アライメント角度と最高レベルの使い勝手の良さ
- 安価で小型・アライメント用可視光レーザー内蔵
- キャリブレーションにより、数µmレベルでの測長が可能
仕様
| センサ/th> | |
|---|---|
| センサの数 | 3 |
| 計測範囲 | 0から最高5000mm |
| 分解能 | 1 pm |
| 位置再現性 | 2nm (作動範囲：10mm 、真空中) |
| 対象物の最大速度 | 2 m/s |
| 測定帯域幅 | 最高10MHz(AquadB)、約100kHz(USB) |
| 安定性(2σ) | 0.110nm(作動距離：77mm 、-269°C) |
| 操作モード | |
| 測定モード | 変位 |
| リモート操作 | 組込ウエブサーバー |
| 出力シグナル | sin/cos, AquadB, HSSL (フィールドバスシステムはオプション) |
| 変位測定用シグナル | IRレーザー(1530 nm) |
| アライメント用シグナル | 可視光レーザー(650 nm) |
| センサアライメント調整 | 組込ウエブサーバー、DLLS |
| センサ初期化 | 組込ウエブサーバー、DLLS |
| インターフェイス | |
| センサ初期化 | 全自動 |
| アナログインターフェイス | sin/cos(リアルタイム) |
| デジタルインターフェイス | AquadB, HSSL(リアルタイム) |
| フィールドバスインターフェイス（オプション) | Biss-C, 以下要問合せ EtherCAT, CANopen, Profinet, Profinet RT |
| コントローラ | |
| 筐体 | 50 x 55 x 195 cm3 |
| 重量 | 730g |
| 電力供給 | 12V DC |
| 消費電力 | 8W |
| 測定レーザー | |
| レーザーソース | DFBレーザー |
| レーザーパワー | 400µW |
| レーザークラス | クラス1 |
| レーザー波長 | 1530nm |
| 波長安定性 | 50ppb |
レーザー干渉変位計FPSの構成と関連アプリケーション
- センサーヘッドは、設置スペース・設置環境(温度・真空度)・測定距離/変位量・対象物(材質と表面状態)等をお聞きし、最適なものをご紹介します。
- 環境補正キッドや角度測定オプション、データマーカーオプションの他、真空フィードスルー等のアクセサリーもご用意しています。
- データ取得はLVTTLのシグナルを読み込める回路が必要です。
