PRODUCTS製品案内

精密位置決めステージ

極限環境用ピエゾステージ

ATC100

ATC100

サーマルカップリング

真空中でサンプルを冷却する場合、熱伝導を利用して冷却を行います。ただしサンプルがピエゾステージに乗っている場合、ステージの可動性を保ちつつ冷却を行う必要があります。ATC100は高い熱伝導性を持ち、非常に柔軟な金属素材を使用しピエゾステージ上のサンプルを効率的に冷却することができます。

    

ATC

ANPステージの組み合わせにより最適な長さが変わります。

ATC100
  スタック(組合せ) 熱伝導度
ATC100/35 ANPxy101 25 mW/K
ATC100/60 ANPxyz101 15 mW/K
ATC100/70 ANPxyz101+ANSxyz100 10 mW/K
ATC100/Si/35 ANPxyz101 25 mW/K
ATC100/Si/60 ANPxyz101 15 mW/K
ATC100/Si/70 ANPxyz101 10 mW/K
ATC100/Cer/35 ANPxy101 25 mW/K
ATC100/Cer/60 ANPxyz101 15 mW/K
ATC100/Cer/70 ANPxyz101+ANSxyz100 10 mW/K

 

選定の仕方

Siのあるモデルは、Siダイオード温度センサーが内蔵されています
Cerのあるモデルは、Cernox温度センサーが内蔵されています。
これらは、ヒーターも内蔵されています。

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