精密位置決めステージ
工業向けピエゾステージ
ECSポジショナーのVIDEOをご一緒にどうぞ
ECSポジショナーを動画で見てみる
ロックゲートブログの読者の皆様、こんにちは。
総務の渡辺でございます。
今朝の通勤時は寒い雨でございましたが、お昼も過ぎて改めて空を眺めると、天気人気ランキングで1位になりそうな青空が広がっております。
どんな天気でも、明るくロックゲートブログをアップデートしてまいります。
それでは本日は天候に振り回された疲労を独国attocube systems社のECSナノポジショナーで癒すことと致しました。
ロックゲートブログの読者の皆様もご一緒にご覧くださいませ。
それでは総務のチカラでこのECSについてご案内申し上げます。
ECSポジショナーは、換言すればピエゾステージや位置決めステージなどの表現もございます。
総務だけの知識では表現が少ししか出てまいりませんため、弊社技術者に只今インタビューをしてまいりましたところ、精密位置決め装置、ピエゾアクチュエーターという表現も有ることを仕入れました!!
言葉の表現はさまざまございますでしょうが、いづれもお使いになられる方々のバックグラウンドにより、異なってまいります。
話がそれてしまいますが、【ちょうでんどう】が【超電導】を使われたり、【超伝導】が使われたりに似ておると総務は思いました。
ちなみに私が弊社webサイトから入手いたしました情報によりますと、ECSシリーズピエゾステージの動作原理は以下の通りです。
>
- 可動テーブル部がロッドに対して固定しており(Sticking phase)、ロッドとともに移動します。ロッドの端にはピエゾアクチュエータが固定されています。このピエゾアクチュエータにノコギリ波を加えます。
- ノコギリ波のスロープ状になっている場所では、可動テーブルはロッドとともに移動します。この時の移動量はピエゾアクチュエータに加えられた電圧に比例します。ANPピエゾステージではこのステップは室温で約50nm程度です。また極低温では10nm程度に小さくなります。
- ノコギリ波の垂直に電圧が下がるところでは、ピエゾアクチュエータが急激に元の長さに戻るため、可動テーブル部は慣性によりロッドに対して滑り、可動テーブルはほぼその位置に留まります。これで1つのサイクルが完了し、サイクルを繰り返すことで可動テーブルは大きな距離を移動することができます。
>
そしてこれらステージは組み合わせて使用することが可能でございます。
私の案内ではどうも底が浅くなってしまいますため、ご興味がございましたらどうぞECSポジショナーページをご参照下さいませ♪
それではロックゲートブログの読者の皆様☆
本日もよろしくお願いいたします!!
総務:渡辺