PRODUCTS製品案内
精密位置決めステージ Nanopositioners
工業向けピエゾステージ
ECS Lift
ECS用荷重補助オプション
ECSリフトは、高い荷重を持ち上げるためにECS3030, ECS3040, ECS3050室温ピエゾポジショナーと共に使用します。
| ECS Lift | |
|---|---|
| 材質 | ステンレス, PEEK |
| フットプリント | 46.5 x 63 mm |
| 高さ | 74 mm |
| 重量（機械部のみ） | 94.8 g |
| 荷重 | Option1: 5N(&plusmin;20%) Option2: 8.8N(&plusmin;20%) Option3: 14.7N(&plusmin;20%) |
| 対応ピエゾステージ | ECS3030, ECS3040, ECS3050 |
| 対応アダプタープレート | EAP01, EAP02 |
| 動作環境 | 0-150 °C |
| 圧力 | 大気圧から5 x 10-11 mbar |
| 構成 | サポートユニット, スプリング |