PRODUCTS製品案内
精密位置決めステージ Nanopositioners
工業向けピエゾステージ
真空フィードスルー
ECS用真空フィードスルー
真空フィードスルー
工業用ピエゾステージはしばしば真空中に設置されるため、空気中にあるコントローラとは、真空フィードスルーを介して接続されます。真空度によりKFフランジ、CFフランジを選択します。
NUMエンコーダー内蔵ピエゾステージ用
- EVFT1/NUM/KF40
- EVFT3/NUM/KF63
- EVFT1/NUM/CF40
- EVFT3/NUM/CF63
選定の仕方
フランジ：KFまたはCFから選択します。サイズは40mmまたは63mmとなります。
フランジサイズにより1個または3個のDsub15ピンコネクターが使用できます。
上記フィードスルーには真空中でピエゾステージに接続するためのケーブル（カプトン被覆、長さ50cm）およびコントローラからフィードスルーまでのケーブル（長さ2m）が付属します。
モデル名
モデル名は4つの部分からなりそれぞれ次の意味があります。
“EVFT3/NUM/CF63”
“EVFT” 真空フィードスルーを意味します
“3” は3本のケーブルを接続できることを意味しています
“/NUM” は抵抗式エンコーダーに対応します
“/CF63”はフランジのタイプとサイズを示しています。