PRODUCTS製品案内

精密位置決めステージ

工業向けピエゾステージ

真空フィードスルー

真空フィードスルー

ECS用真空フィードスルー

真空フィードスルー
工業用ピエゾステージはしばしば真空中に設置されるため、空気中にあるコントローラとは、真空フィードスルーを介して接続されます。真空度によりKFフランジ、CFフランジを選択します。

    

EVFT

NUMエンコーダー内蔵ピエゾステージ用

 

  • EVFT1/NUM/KF40
  • EVFT3/NUM/KF63
  • EVFT1/NUM/CF40
  • EVFT3/NUM/CF63

 

選定の仕方

フランジ:KFまたはCFから選択します。サイズは40mmまたは63mmとなります。
フランジサイズにより1個または3個のDsub15ピンコネクターが使用できます。
上記フィードスルーには真空中でピエゾステージに接続するためのケーブル(カプトン被覆、長さ50cm)およびコントローラからフィードスルーまでのケーブル(長さ2m)が付属します。

モデル名

モデル名は4つの部分からなりそれぞれ次の意味があります。
“EVFT3/NUM/CF63”
“EVFT” 真空フィードスルーを意味します
“3” は3本のケーブルを接続できることを意味しています
“/NUM” は抵抗式エンコーダーに対応します
“/CF63”はフランジのタイプとサイズを示しています。

 

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