PRODUCTS製品案内

精密位置決めステージ

工業向けピエゾステージ

ECS Lift

ECS Lift

ECS用荷重補助オプション

    

EAP

ECSリフトは、高い荷重を持ち上げるためにECS3030, ECS3040, ECS3050室温ピエゾポジショナーと共に使用します。

ECS Lift
材質 ステンレス, PEEK
フットプリント 46.5 x 63 mm
高さ 74 mm
重量(機械部のみ) 94.8 g
荷重 Option1: 5N(&plusmin;20%)
Option2: 8.8N(&plusmin;20%)
Option3: 14.7N(&plusmin;20%)
対応ピエゾステージ ECS3030, ECS3040, ECS3050
対応アダプタープレート EAP01, EAP02
動作環境 0-150 °C
圧力 大気圧から5 x 10-11 mbar
構成 サポートユニット, スプリング

 

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