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極低温SPM

先端アプリケーション用SPM

LTP

LTP

極低温リソグラフィー

SPM for SEM

attoCFM Iと高精度のクローズドループスキャン技術を組み合わせることで、個々の量子ドットを特定しさらにその位置を10nm以内の精度で測定、後に同じ場所に戻ってくることが可能です。3チャンネルCFMヘッドを使用することで2チャンネルを、量子ドットの特定に使用します。そして3つ目のチャンネルで露光を行うことで、特定の量子ドットの場所を露光することができます。この技術によりピラー型のマイクロキャビティを量子ドットの直上に作ることが可能です。

[1] Dousse et al., Phys. Rev. Lett. 101, 267404 (2008)

[2] Dousse et al., Appl. Phys. Lett. 94, 121102 (2009)

[3] Dousse et al., Nature 466, 217-220 (2010)

[4] A. K. Nowak et al., Nature Communications 5, 3240 (2014)

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