PRODUCTS製品案内

レーザー干渉変位計

センサーヘッド

D12/F2.8

D12/F2.8

FPS/IDS用センサーヘッド

レーザー干渉変位計FPS3010及びIDS3010用で使用されるセンサーヘッドキットです。 このセンサーヘッドは直径12mmの対物レンズがベースとなっており、スポットサイズが2µmであるため、低反射率材料や粗面対象物の計測のほか、カンチレバーの振動測定にも使用できます。
標準品として焦点までの距離が8mm(F8)と13mm(F13)の2種があり、焦点近くでは低反射率材料において4mmの測定範囲があり、高反射率材料では最高15mmの測定範囲で変位測定が可能です。
センサーヘッドセットには、長さ5mのファイバーが直結されています。
センサーヘッド及びファイバーは、高真空(HV)・超高真空(UHV)・極低温(LT)・高放射線(RAD)などの環境での使用に対応するグレードも選択できます。
レーザー干渉変位計FPS及びIDSと使用するためのセンサキットです。D12/F2.8センサヘッドとセンサヘッドコントローラ間のファイバー(長さ5m)が含まれます。低温、超高真空、放射能などの環境での使用に対応するファイバーもあります。

 

仕様

一般仕様
光学タイプ 焦点
大きさ 直径12mm, 長さ32.3mm
スポット径 2µm(@2.8mm)
焦点距離 2.8mm
コネクタ FC/PC
使用環境 RT (0-100°C、1×10-4mbar ~10bar)
HV (0-150°C、1×10-8mbar ~10bar)
UHV (0-150°C、1×10-10mbar ~10bar)
LT (mK-423K (150°C)、1×10-4mbar~10bar)
測定モード シングルパス
測定範囲 2.8mm

 

寸法

 

ダウンロード