PRODUCTS製品案内
レーザー干渉変位計 Displacement Sensor
センサーヘッド
M12/C7.6
FPS/IDS用センサーヘッド
レーザー干渉変位計FPS3010及びIDS3010用で使用される標準的なセンサーヘッドキットです。
このセンサーヘッドはM12×0.5のねじで取り付けることができます。スポット径7.6mmのコリメート光を出射しますので焦点がなく、特に長距離における変位測定用として開発されました。
M12/C7.6センサヘッドセットには、センサヘッド/コントローラ間のファイバー(長さ5m)が含まれます。
センサーヘッド及びファイバーは、高真空(HV)・超高真空(UHV)・極低温(LT)・高放射線(RAD)などの環境での使用に対応するグレードも選択できます。
仕様
一般仕様 | |
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光学タイプ | コリメート |
大きさ | 直径14mm, 長さ49.3mm |
センサマウント | メトリックM12x0.5 |
スポット径 | 7.6mm |
焦点距離 | ∞ |
コネクタ | FC/PC |
使用環境 | RT (0-100°C、1×10-4mbar ~10bar) HV (0-150°C、1×10-8mbar ~10bar) UHV (0-150°C、1×10-10mbar ~10bar) LT (mK-423K (150°C)、1×10-4mbar~10bar) RAD (0~150°C、放射線量10MGy以下) |
寸法