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レーザー干渉変位計

センサーヘッド

M12/C7.6

M12/C7.6

FPS/IDS用センサーヘッド

レーザー干渉変位計FPS3010及びIDS3010用で使用される標準的なセンサーヘッドキットです。
このセンサーヘッドはM12×0.5のねじで取り付けることができます。スポット径7.6mmのコリメート光を出射しますので焦点がなく、特に長距離における変位測定用として開発されました。
M12/C7.6センサヘッドセットには、センサヘッド/コントローラ間のファイバー(長さ5m)が含まれます。
センサーヘッド及びファイバーは、高真空(HV)・超高真空(UHV)・極低温(LT)・高放射線(RAD)などの環境での使用に対応するグレードも選択できます。

 

仕様

一般仕様
光学タイプ コリメート
大きさ 直径14mm, 長さ49.3mm
センサマウント メトリックM12x0.5
スポット径 7.6mm
焦点距離
コネクタ FC/PC
使用環境 RT (0-100°C、1×10-4mbar ~10bar)
HV (0-150°C、1×10-8mbar ~10bar)
UHV (0-150°C、1×10-10mbar ~10bar)
LT (mK-423K (150°C)、1×10-4mbar~10bar)
RAD (0~150°C、放射線量10MGy以下)
高反射率材料(光学ミラー等)
測定モード シングルパス
測定範囲 ~3000mm(FPS3010)、~5000mm(IDS3010)
アライメント許容範囲 ±0.04°
レトロリフレクタ
測定モード シングルパス
測定範囲 ~3000mm(FPS3010)、~5000mm(IDS3010)
アライメント許容範囲 ±15°、±2mm

 

寸法

 

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