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レーザー干渉変位計

センサーヘッド

D4/F17

D4/F17

FPS/IDS用センサーヘッド

レーザー干渉変位計FPS3010及びIDS3010用で使用される小型センサーヘッドキットです。
このセンサーヘッドは直径4mmと小型で、他のセンサーヘッドが設置不可能なスペースでの使用できます。焦点において70µmのスポット径であり、低反射率材料や粗面対象物の計測に有利です。
焦点近くでは低反射率材料において4mmの測定範囲があり、高反射率材料では最高15mmの測定範囲で変位測定が可能です。センサーヘッドセットには、ファイバーが直結されています。センサーヘッド及びファイバーは、高真空(HV)・超高真空(UHV)・極低温(LT)・高放射線(RAD)などの環境での使用に対応するグレードも選択できます。

 

仕様

一般仕様
光学タイプ フォーカス
大きさ 直径4mm, 長さ11.5mm
焦点距離 17mm
コネクタ なし (センサーヘッド/ファイバー一体型)
使用環境 RT (0-100°C、1×10-4mbar ~10bar)
HV (0-150°C、1×10-8mbar ~10bar)
UHV (0-150°C、1×10-10mbar ~10bar)
LT (mK-423K (150°C)、1×10-4mbar~10bar) RAD (0~150°C、放射線量10MGy以下)
極低反射率材料(ガラス等)
測定モード シングルパス
測定範囲 14.5-19.5mm
アライメント許容範囲 ±0.15&deg
高反射率材料(光学ミラー等)
測定モード シングルパス
測定範囲 50-65mm
アライメント許容範囲 ±0.2&deg

 

寸法

 

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