PRODUCTS製品案内
レーザー干渉変位計 Displacement Sensor
センサーヘッド
M15.5/F40/FLEX
FPS/IDS用センサーヘッド
レーザー干渉変位計FPS3010及びIDS3010用で使用されるアライメント調整機構を内蔵したセンサーヘッドです。
このセンサーヘッドはM15.5×0.5のねじで取り付けることができます。
M15.5/C1.6/FLEXセンサヘッドセットには、センサヘッド／コントローラ間のファイバー(長さ5m)が含まれます。
センサーヘッド及びファイバーは、高真空(HV)・超高真空(UHV)・極低温(LT)・高放射線(RAD)などの環境での使用に対応するグレードも選択できます。
仕様
| 一般仕様 | |
|---|---|
| 光学タイプ | フォーカス |
| 大きさ | 直径22mm, 長さ22.7mm |
| センサマウント | メトリックM15.5×0.5 |
| 焦点距離 | 40mm |
| コネクタ | FC/PC |
| 使用環境 | RT (0-100°C、1×10-4mbar ～10bar) HV (0-150°C、1×10-8mbar ～10bar) UHV (0-150°C、1×10-10mbar ～10bar) LT (mK-423K (150°C)、1×10-4mbar～10bar) RAD (0～150°C、放射線量10MGy以下) |
寸法
