PRODUCTS製品案内

レーザー干渉変位計

センサーヘッド

M12/F40

M12/F40

FPS/IDS用センサーヘッド

レーザー干渉変位計FPS3010及びIDS3010用で使用されるセンサーヘッドです。
このセンサーヘッドはM12×0.5のねじで取り付けることができます。M12/F40センサヘッドセットには、センサヘッド/コントローラ間のファイバー(長さ5m)が含まれます。
センサーヘッド及びファイバーは、高真空(HV)・超高真空(UHV)・極低温(LT)・高放射線(RAD)などの環境での使用に対応するグレードも選択できます。

 

仕様

一般仕様
光学タイプ フォーカス
大きさ 直径14mm, 長さ19.5mm
センサマウント メトリックM12x0.5
焦点距離 40mm
コネクタ FC/PC
使用環境 RT (0-100°C、1×10-4mbar ~10bar)
HV (0-150°C、1×10-8mbar ~10bar)
UHV (0-150°C、1×10-10mbar ~10bar)
LT (mK-423K (150°C)、1×10-4mbar~10bar) RAD (0~150°C、放射線量10MGy以下)
極低反射率材料(ガラス等)
測定範囲 38.5-41.5mm
アライメント許容範囲 ±0.035°
高反射率材料(光学ミラー等)
測定範囲 46-50
アライメント許容範囲 ±0.35&deg

 

寸法

 

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